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EVAPORATEUR DEPOT METALLIQUE   -   ALLIANCE CONCEPT / EVA450


Description / Caractéristiques

Il s'agit d'un équipement permettant une métallisation d'échantillons.

Description  

2 sources effet Joule

1 canon à électrons, avec 4 creusets

Microbalance à quartz (Inficon XTC)

Plateau rotatif

Soft de pilotage « Induscreen »

Caractéristiques 

Sources possibles : Ti, Pt, Au, Ni, Cr, Ag ... (sauf cuivre)

Pression : 8.10-8 mbar de base

Puissance effet Joule : (Nous contacter)

Vitesses de dépôt : 0,5 nm / s

Principaux avantages

Possibilité de dépôt en statique ou dynamique                      

Grâce au plateau rotatif

Création et mémorisation de process                      

Grâce au système de contrôle

2 techniques d'évaporation                      

Grâce aux sources à effet Joule et canon à électrons

Contrôle d'épaisseur et vitesse de dépôt en temps réel                      

Grâce à une microbalance à Quartz

Balayage du faisceau d'électrons paramétrable                      

Grâce au logiciel dédié "supersweep 64", stockage de 8 types de balayage dans le contrôleur

Homogénéité inférieure à +/- 7% sur toute la surface                      

Grâce à une automatisation du process

Fichiers annexes

Zn09_-_Evaporateur_depot_metallique_-_Alliance_concept_EVA450_-_Calmes.C.pdf

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